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產品性能：
1、高精度、高重復性
?采用針孔，共聚焦光學系統、高穩定性結構設計、優異的3D重建算法組成測量系統保證測量精度高；
?2、一體化操作的測量分析軟件
?1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數據自動統計，實現了快速批量測量的功能;
2） 可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程;?
3）結合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區域的測量與分析過程;?
4）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;?
5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能;
6） 可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。
技術參數：
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測量原理 |
針孔共聚焦光學系統 |
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顯微物鏡 |
10x,20x,50x,100x |
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視場范圍 |
120x120?~1.2x1.2 mm |
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掃描幀率 |
≥4HZ |
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高度測量 |
重復性*1 |
20nm |
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精度*1 |
±(0.2+L/100)? |
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顯示分辨率 |
0.5nm |
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寬度測量 |
重復性*2 |
40nm |
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精度*2 |
2% |
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顯示分辨率 |
Inm |
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XY位移平臺 |
尺寸 |
200×200mm |
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移動范圍 |
100×100mm |
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負載 |
10kg |
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控制方式 |
電動 |
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Z0軸掃指 |
范圍 |
10mm |
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Z0軸掃描步長 |
20nm-150nm |
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Z向移動范圍 |
100mm |
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物鏡塔臺 |
5孔電動 |
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光源 |
白光LED |
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外形尺寸 |
540*379*594mm |
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總重量 |
45kg |
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工作電源 |
AC 220V/50HZ |
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工作環境 |
溫度10°C~35°C,溫度梯度＜1°C/15分鐘，濕度30-80%振動＜0.002g,低于15Hz |
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•1在環境溫度20±2°C下用50X物鏡測量4.7?標準臺階樣塊。
•2在環境溫度20±2°C下用50X物鏡測量標準刻線樣板。